| 유형 | 폐쇄형, 마이크로포커스 | 
| 최대 튜브 전압 | 90kV | 
| 최대 튜브 전류 | 200μA | 
| 초점 크기 | 5μm | 
| 기능 | 자동 예열 | 
| 유효면적 | 130mm*130mm | 
| 픽셀 크기 | 85μm | 
| 해결 | 1536*1536 | 
| 프레임 속도 | 20fps | 
| 기울일 수 있는 각도 | 60° | 
| 크기 | 530mm*530mm | 
| 감지 가능 영역 | 500mm*500mm | 
| 최대 부하 | 10kg | 
| 확대 | 기하학 200X | 시스템 1500X | 
| 검사속도 | 최대 3.0초/포인트 | 
| 치수 | 1360mm(길이) * 1365mm(너비) * 1730mm(높이) | 
| 무게 | 1200kg | 
| 전원공급장치 | AC110-220V 50/60HZ | 
| 최대 출력 | 1500W | 
| 산업용 PC | I5 CPU, 8G RAM, 500GB SSD | 
| 디스플레이어 | 24인치 HDMI LCD |