| 구성 요소 | 매개 변수 | 사양 |
|---|---|---|
| 엑스레이 소스 | 종류 | 닫힌, 마이크로 포커스 |
| 최대 튜브 전압 | 90kV | |
| 최대 파이브 전류 | 200μA | |
| 초점 크기 | 5μm | |
| 평면 패널 탐지기 | 효과적 영역 | 130mm × 130mm |
| 픽셀 크기 | 85μm | |
| 결의 | 1536×1536 | |
| 프레임 속도 | 20fps | |
| 기울기각 | 60° | |
| 검사 테이블 | 크기 | 530mm × 530mm |
| 탐지 가능한 영역 | 500mm × 500mm | |
| 최대 부하 | 10kg | |
| 장비 | 확대 | 기하학 200X 시스템 1500X |
| 검사 속도 | 최대 3.0s/점 | |
| 크기 | 1360mm (L) × 1365mm (W) × 1730mm (H) | |
| 무게 | 1200kg | |
| 전원 공급 | AC110-220V 50/60HZ | |
| 최대 전력 | 1500W | |
| 산업용 PC | I5 CPU, 8G RAM, 500GB SSD | |
| 표시 | 모니터 | 24인치 HDMI LCD |