はんだ接合部や半導体部品の内部構造を分析するための、コンパクトで高精度な検査ソリューション。
| X線管の種類 | 密閉型X線源 | 
|---|---|
| 管電圧範囲(T-160) | 0-150KV | 
| 検出器タイプ | アモルファスシリコンフラットパネル検出器 | 
|---|---|
| 画素サイズ(T-160) | 139μm | 
| 画素マトリックス(T-160) | 1536x1536 | 
| 最大サンプルサイズ(T-160) | 直径500mm * 高さ750mm | 
|---|---|
| 最大イメージングエリア(T-160) | 直径250mm * 高さ160mm | 
| JIMAカード解像度 | 3μm | 
| 機器重量(T-160) | 1.5T | 
| 機器寸法(T-160) | 1850mm * 1300mm * 2100mm(L*W*H) | 
| 画像処理ソフトウェアシステム | 統合スキャン画像処理ソフトウェア、3D画像再構成ソフトウェア、3D画像計測・解析ソフトウェア、画像データベース管理ソフトウェア |