X8800 急速な多層半導体検査装置は,包括的な半導体分析と品質管理のための高度な3D/CT機能を提供しています.
| X線源 | ||
|---|---|---|
| タイプ | オープン マイクロフォーカス | |
| 最大チューブ電圧 | 160kV | |
| 最大チューブ電流 | 500μA | |
| ターゲットパワー | 15W | |
| 管の電源 | 65W | |
| 焦点の大きさ | 1μm | |
| 平面パネル検出器 | |
|---|---|
| 効果的領域 | 130mm×130mm |
| ピクセルサイズ | 49.5μm |
| 決議 | 1536×1536 |
| フレームレート | 20fps |
| 傾き角 | 60° |
| 回転角 | 360° |
| 表の仕様 | |
|---|---|
| サイズ | 400mm×400mm |
| 検出可能な領域 | 400mm×400mm |
| 最大負荷 | 10kg |
| 設備の仕様 | |
|---|---|
| ジオメトリ拡大図 | 2500X |
| 検査速度 | 最大3.0s/ポイント |
| サイズ | 1550mm (L) × 1600mm (W) × 1700mm (H) |
| 体重 | 1800kg |
| 電源 | AC110-220V 50/60HZ |
| マックス パワー | 1800W |
| 産業用PC | I7CPU,16G RAM,240GB SSD+1TB HDD |
| ディスプレイ | 24インチHDMILCD |
| 安全性 | |
|---|---|
| 放射線漏れ | 漏れなし 国際基準: ≤1μSv/h |
| 鉛ガラス観測窓 | 透明な鉛ガラス窓シールド 内部状態を観察するための放射線 |
| 窓と裏扉の安全鍵 | 窓 や 後ろ の ドア を 開く とき に すぐに X 線 管 の 電源 が 切れる |
| 電気磁気安全スイッチ | X線が開いているときにロック,窓を開くのを防ぐ |
| 緊急停止 | 操作位置の隣に位置し,即座に電源を切る |
| 管の保護 | X線管を閉めずに離れるのを防げるソフトウェア |
| 機能モジュール | オペレーション |
|---|---|
| X線管制御 | マウスクリック X ボタンをクリックしてX線をオン/オフします. 調整可能な設定でリアルタイム電圧と電流表示 |
| ステータスバー | インターロック状態,予熱状態,赤/緑色点滅のX線状態を表示します. |
| 画像効果調整 | 適正な画像品質のために明るさ,コントラスト,増幅を調整できる |
| 製品リスト | 効率的な繰り返し製品検査のために検査パラメータを保存する |
| ナビゲーションウィンドウ | テーブルを選択した位置に移動するには,テーブル写真の任意の場所にクリックします |
| 運動軸の状態 | リアルタイムの座標表示 |
| 検査結果 | 測定結果が順番で表示される (空白率,距離,面積など) |
| スピード制御 | 各軸の調整可能な移動速度 (ゆっくり,普通,高速) |