| 종류 | 닫힌, 마이크로 포커스 |
| 최대 튜브 전압 | 90kV |
| 최대 튜브 전류 | 200μA |
| 초점 크기 | 5μm |
| 기능 | 오토 프리 히트 |
| 효과적 면적 | 130mm*130mm |
| 픽셀 크기 | 85μm |
| 결의 | 1536*1536 |
| 프레임 레이트 | 20fps |
| 기울기각 | 60° |
| 크기 | 530mm*530mm |
| 탐지 가능한 영역 | 500mm*500mm |
| 최대 부하 | 10kg |
| 확대 | 기하학 200X 시스템 1500X |
| 검사 속도 | 최대 3.0s/점 |
| 크기 | 1360mm (L) * 1365mm (W) * 1730mm (H) |
| 무게 | 1200kg |
| 전원 공급 | AC110-220V 50/60HZ |
| 최대 전력 | 1500W |
| 산업용 PC | I5 CPU, 8G RAM, 500GB SSD |
| 디스플레이 | 24인치 HDMI LCD |