| 종류 | 밀폐형, 마이크로포커스 |
| 최대 튜브 전압 | 90kV |
| 최대 튜브 전류 | 200μA |
| 초점 스팟 크기 | 5μm |
| 기능 | 자동 예열 |
| 유효 면적 | 130mm×130mm |
| 픽셀 크기 | 85μm |
| 해상도 | 1536×1536 |
| 프레임 속도 | 20fps |
| 크기 | 420mm×420mm |
| 검출 가능 면적 | 400mm×400mm |
| 최대 하중 | 15kg |
| 배율 | 기하학적: 150X | 시스템: 1500X |
| 검사 속도 | 최대 3.0초/포인트 |
| 치수 | 1100mm (L)×1000mm (W)×1600mm(H) |
| 무게 | 1000kg |
| 전원 공급 장치 | AC110-220V 50/60HZ |
| 최대 전력 | 1300W |
| 산업용 PC | Intel I5 CPU, 8G RAM, 240GB SSD |
| 디스플레이어 | 24" HDMI LCD |