| 유형 | 밀폐형, 마이크로 초점 |
| 최대 튜브 전압 | 90kV |
| 최대 튜브 전류 | 200μA |
| 초점 크기 | 5μm |
| 기능 | 자동 예열 |
| 유효 면적 | 130mm*130mm |
| 픽셀 크기 | 85μm |
| 해상도 | 1536*1536 |
| 프레임 속도 | 20fps |
| 틸트 각도 | 60° |
| 크기 | 530mm*530mm |
| 감지 가능한 영역 | 500mm*500mm |
| 최대 하중 | 10kg |
| 배율 | 기하학적 200X | 시스템 1500X |
| 검사 속도 | 최대 3.0s/포인트 |
| 치수 | 1360mm (L) * 1365mm (W) * 1730mm (H) |
| 무게 | 1200kg |
| 전원 공급 장치 | AC110-220V 50/60HZ |
| 최대 전력 | 1500W |
| 산업용 PC | I5 CPU, 8G RAM, 500GB SSD |
| 디스플레이 | 24" HDMI LCD |