| 유형 | 폐쇄형 미세초점 |
|---|---|
| 최대 전압 | 90kV(선택 사항) |
| 최대 전류 | 200μA |
| 초점 | 5μm |
| 자동 예열 기능 | 예 |
| 유효면적 | 130×130mm |
|---|---|
| 픽셀 크기 | 85μm |
| 해결 | 1536×1536 |
| 프레임 속도 | 20fps |
| 기울기 각도 | 60°(옵션) |
| 플랫폼 크기 | 530×530mm |
|---|---|
| 효과적인 검사 영역 | 500×500mm |
| 최대 부하 | 10kg |
| 광학 배율 | 최대 200× |
|---|---|
| 시스템 배율 | 최대 1500× |
| 검사 속도 | 포인트당 최대 3.0초 |
| 치수 | 1360(길이)×1365(폭)×1730(높이)mm |
|---|---|
| 무게 | 1200kg |
| 전원공급장치 | AC 110-220V, 50/60Hz |
| 최대 출력 | 1500W |
| 산업용 PC | I5 CPU, 8GB RAM, 500GB SSD |
| 표시하다 | 24인치 HDMI LCD |
| 방사선 누출 | ≤1 μSv/h(국제 표준 충족) |
|---|---|
| 탐색 창 | 안전한 모니터링을 위한 납유리 관찰창 |
| 문/창문 안전 인터록 | 열면 X-ray가 끊어집니다. |