| タイプ | 閉ざされたマイクロフォーカス |
|---|---|
| 最大電圧 | 90kV |
| 最大電流 | 200 μA |
| 焦点 | 5 μm |
| 自動予熱機能 | そうだ |
| 効果的面積 | 130×130mm |
|---|---|
| ピクセルサイズ | 85 μm |
| 決議 | 1536×1536 |
| フレームレート | 20fps |
| 傾き角 | 60° |
| プラットフォームの大きさ | 530×530 mm |
|---|---|
| 効果的な検査区域 | 500×500 mm |
| 最大負荷 | 10kg |
| 光学拡大 | 200倍まで |
|---|---|
| システム拡大 | 1500×まで |
| 検査速度 | ポイントあたり最大3.0s |
| サイズ | 1360 (L) × 1365 (W) × 1730 (H) mm |
|---|---|
| 体重 | 1200kg |
| 電源 | AC 110-220 V 50/60 Hz |
| 最大電源 | 1500W |
| 産業用PC | I5CPU 8GBRAM 500GBSSD |
| ディスプレイ | 24インチHDMILCD |