| 종류 | 닫힌 마이크로 포커스 |
|---|---|
| 최대 전압 | 90kV |
| 최대 전류 | 200μA |
| 화상점 | 5μm |
| 자동 사전 가열 기능 | 네 |
| 효과적 면적 | 130×130mm |
|---|---|
| 픽셀 크기 | 85μm |
| 결의 | 1536×1536 |
| 프레임 레이트 | 20 fps |
| 기울기 각 | 60° |
| 플랫폼 크기 | 530×530mm |
|---|---|
| 효과적 검사 구역 | 500x500mm |
| 최대 부하 | 10kg |
| 광학 확대 | 최대 200배 |
|---|---|
| 시스템 확대 | 최대 1500 × |
| 검사 속도 | 포인트당 최대 3.0s |
| 크기 | 1360 ((L) × 1365 ((W) × 1730 ((H) mm |
|---|---|
| 무게 | 1200kg |
| 전원 공급 | AC 110-220 V, 50/60 Hz |
| 최대 전력 | 1500W |
| 산업용 PC | I5 CPU, 8 GB RAM, 500 GB SSD |
| 표시 | 24인치 HDMI LCD |